岗位描述(节选)
【工作职责】
1. 工艺开发与优化:主导TGV通孔电镀后的CMP研磨平坦化工艺开发与量产导入,优化研磨速率、均匀性、选择比及表面缺陷密度等关键参数,建立工艺窗口与质量标准。
2. 缺陷攻关:牵头解决划伤、碟形凹陷、腐蚀坑、残留铜、界面剥离等CMP典型缺陷,进行根因分析与改善闭环,持续提升良率与长期可靠性。
3. 耗材与设备导入:评估并验证研磨液、抛光垫、修整器等关键耗材,参与CMP设备选型、调试与验收,对接供应商解决工艺瓶颈与成本优化。
4. 标准与知识沉淀:编写SOP、控制计划及PFMEA等工艺文件,建立研磨工艺数据库与在线监控体系,参与专利挖掘与技术交底。
【任职要求】
1. 学历与经验:本科及以上,材料、化工、机械、微电子等专业,5年以上CMP研磨或先进封装平坦化工艺开发经验。
2. 专业技能:精通CMP研磨机理与工艺参数调控,具备玻璃/铜/介质等材料平坦化量产实操经验。深……
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